熱式質(zhì)量流量計的優(yōu)勢與劣勢
發(fā)布時間：2022-06-20 08:43:03
1、熱式質(zhì)量流量傳感器優(yōu)勢：
（１）靈敏度高：熱式傳感器對溫度的變化非常敏感，因此非常易于測量；
（２）功耗低：因為尺寸和感溫材料的不斷優(yōu)化，傳感器的功耗越來越低；
（３）尺寸小：現(xiàn)在的熱式傳感器結(jié)構(gòu)因為采用ＭＥＭＳ工藝，一般是厘米或者微米級；
（４）量程大：測量下限很低，可以測量微小流量；
（５）集成度高：結(jié)合ＭＥＭＳ工藝可以將芯片、流道和信號處理電路集成到一起；
（６）結(jié)構(gòu)簡單：硅基片上結(jié)構(gòu)包裝后方便安裝在需要的設備上；（７）成本低：可以結(jié)合成熟的集成電路工藝在硅基上批量生產(chǎn)。2、熱式質(zhì)量流量傳感器劣勢：
（１）測量氣體組分單一：當氣體種類改變時，不同氣體的導熱系數(shù)、粘度、比熱容都有差別，測量時會帶來較大的誤差；
（２）要求氣體干燥無污染：濕度較大的氣體對傳感器表面的熱量交換有影響，進而影響到輸出結(jié)果；顆粒物對傳感器的輸出結(jié)果也有影響。
